制备工艺包括五个步骤:1)通过KOH刻蚀获得独立的SiNx膜;2)通过光刻和反应离子刻蚀，天津天津在SiNx膜上形成多孔结构;3)转移石墨烯;4)石墨烯表面清理;5)通过镓基和氦基的聚焦离子束钻孔技术，天津天津在石墨烯平面上形成孔隙。
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